ASML und Samsung kooperieren für Forschungs- und Entwicklungslabor in Südkorea
Die Investitionen in das R&D-Center belaufen sich auf eine Trillion südkoreanische Won. Zudem kooperiert ASML mit SK Hynix für ökofreundlichere EUV-Produktion.
(Bild: Superstar / Shutterstock)
Die niederländische ASML ist mit zwei südkoreanischen Firmen neue, engere Kooperationen eingegangen. Zusammen mit Samsung wird in Südkorea ein Forschungs- und Entwicklungslabor für Halbleiterfertigungsprozesse aufgebaut. Weiterhin wird der Ausrüster gemeinsam mit Chiphersteller SK Hynix daran arbeiten, die Produktion der für moderne Chipfertigung erforderlichen EUV-Maschinen klimafreundlicher zu machen.
Beide Vereinbarungen wurden diese Woche im Rahmen eines Staatsbesuches Südkoreas in den Niederlanden unterzeichnet. Die Vorsitzenden von Samsung und SK Hynix, Lee Jae-yong und Chey Tae-won, haben den südkoreanischen Staatspräsidenten Yoon Suk-yeol bei dessen Reise begleitet. Dabei haben sie nicht nur den niederländischen König Willem-Alexander und Geoffrey van Leeuwen, Minister für Außenhandel und Entwicklungszusammenarbeit, getroffen, sondern auch ASML-Chef Peter Wennink.
Die jetzt von ASML und Samsung unterzeichnete Absichtserklärung zum Aufbau eines gemeinsamen Forschungs- und Entwicklungslabor sieht laut Korea Herald eine Investition von einer Trillion südkoreanischer Won vor, umgerechnet etwa 705 Millionen Euro. Die Besitzverhältnisse und die Aufteilung der Investitionen an diesem R&D-Center sind bislang nicht bekannt, aber es handelt sich um das erste Forschungslabor, das ASML im Ausland zusammen mit einer Halbleiterfirma errichtet.
Weiterentwicklung der EUV-Fertigung
Die beiden Unternehmen wollen damit die Halbleiterfertigung auf "ultra-mikroskopischem" Niveau und Zuhilfenahme von Lithografiesystemen mit extrem-ultravioletter Belichtung (EUV) weiterentwickeln. ASML ist weltweit der einzige Hersteller von EUV-Scannern, die für die Fertigung hochleistungsfähiger High-End-Chips erforderlich sind, und beliefert neben Samsung auch dessen taiwanischen Konkurrenten TSMC mit den entsprechenden Produktionsmaschinen. Angeblich besitzt TSMC rund 100 EUV-Maschinen in Taiwan, während Samsung über etwa 40 davon verfügt.
Samsung ist bereits 2012 beim Anlagenhersteller eingestiegen und hält einen Anteil an ASML im einstelligen Prozentbereich – ebenso wie Intel und TSMC. Die Chipfertiger buhlen um die neuesten EUV-Scanner, die für die Produktion in 2-Nanometer-Strukturen geeignet sind. ASML hat solche Maschinen kürzlich entwickelt und entsprechende Chips sollen in den nächsten Jahren erhältlich sein. Samsung und TSMC planen den Produktionsbeginn der ersten 2-Nanometer-Chips gegen Ende 2025.
Recycling soll Stromverbrauch und Kosten senken
Daneben ist auch Chiphersteller SK-Hynix eine Kooperation mit ASML eingegangen. Gemeinsam wollen die Firmen eine Technik für das Recycling von Wasserstoffgas entwickeln, das für EUV-Maschinen verwendet wird, berichtet Korea Economic Daily. Das Ziel ist, den Stromverbrauch per EUV-Einheit um 20 Prozent zu reduzieren und gleichzeitig die entsprechenden Kosten um über 11 Millionen Euro pro Jahr zu senken.
(fds)
