Globalfoundries fertigt FD-SOI-Chips in Dresden

Der weltweit zweitgrößte Halbleiter-Auftragsfertiger Globalfoundries stärkt seinen deutschen Standort, der ab 2016 Prototypen von Chips mit Fully-Depleted-SOI-Technik der 22-Nanometer-Klasse produziert.

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Globalfoundries Wafer Reinraum

Zwei Globalfoundries-Mitarbeiter im Reinraum mit Wafern.

(Bild: Globalfoundries)

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Rund 250 Millionen Euro will der Chip-Auftragsfertiger Globalfoundries in Dresden-Wilschdorf investieren. Das Geld fließt in Produktionsanlagen für die neue Produktionstechnik 22FDX: Damit sind vier unterschiedliche Fertigungsverfahren für planare Tranistoren mit 22-Nanometer-Strukturen gemeint, bei denen Wafer mit Fully Depleted Silicon-on-Insulator (FD-SOI) zum Einsatz kommen.

Globalfoundries entstand bei der Auslagerung der Chip-Fertigung von AMD. Das Unternehmen gilt als der zweitgrößte Auftragsfertiger im Chip-Bereich nach TSMC aus Taiwan.

Globalfoundries sieht 22FDX als kostengünstige Alternative zu aufwendigen FinFET-Designs. Im Vergleich zu 28-nm-Chips soll der Ultra-Low-Power-Prozess 22FD-ulp die Leistungsaufnahme um bis zu 90 Prozent reduzieren können. Gleichzeitig ermöglicht die 22FDX-Fertigung eine Verringerung der Chip-Fläche um 20 Prozent, kommt aber mit 10 Prozent weniger Lithografiemasken aus und benötigt nur etwas mehr als die Hälfte der Immersions-Belichtungen wie FinFETs.

Außer 22FD-ulp kommt auch 22FD-uhp vor allem für Chips mit Netzwerk- und Analogfunktionen. 22FDF-ull (Ultra-Low Leakage) ist für Wearables und IoT-Devices gedacht, bei denen es auf niedrigste Leckströme ankommt. 22FD-rfa zielt auf Chips mit Hochfrequenzschaltungen.

Chip-Entwickler können loslegen, Globalfoundries stellt Design Starter Kits sowie Process Design Kits (PDKs) in frühen Versionen bereit. Die "Risk Production" soll 2016 anlaufen, die Serienfertigung also später.

Zusammen mit den jetzt angekündigten Investitionen hat Globalfoundries seit 2009 nach eigenen Angaben insgesamt rund 5 Milliarden US-Dollar in den Standort Dresden investiert.

Seit der kürzlich abgeschlossenen Übernahme der IBM-Chipfertigung betreibt Globalfoundries weltweit fünf Chip-Fabs: Das nagelneue Werk in Malta im US-Bundesstaat New York, die ehemaligen IBM-Fabs in East Fishkill – ebenfalls New York – sowie in Burlington, Vermont, und die Fabs in Singapur, die mit dem Kauf von Chartered Semi 2010 zu Globalfoundries kamen. (ciw)